第一百一十六章 这是EUV的设计图纸（2/2）

16纳米？

“要是我没记错的话，再往下就是极紫外光源euv了吧？”

“没错，但是我们这台光刻机采购的时候是按照14纳米来采购的，难道说这里面的透镜这些，也能够达到极紫外光的程度？”

“这不太可能吧？要真的是这样的话，那么实在是太困难了！”

说到这里的时候，在场的不少人都是忍不住频频摇头。

苏陌任凭他们讨论，他只是盯着面前的面板，没有说话。

“不，我们的改进还不够完美，按照我的设计，我们的发射器产生的波长，应该能够达到13.5纳米左右，但是现在只有16纳米，完全不符合我当初的设计思路！”

苏陌抬头看了一眼众人，然后不紧不慢地说道：“我们首先用高功率的二氧化碳激光直接打在直径为30微米的锡液滴，如此高的功率，几乎是瞬间就会让整个锡液滴达到气化的临界温度！”

“这时候会产生等离子体电离效果，若是我们在这个基础上，使用布拉格反射器，那么我们能够得到的光源波长λ将会进一步的缩小，直至我们能够达到最佳的状态！”

“按照电离所需要提供电子伏进行计算，我们可以进一步地推导出，在发生一次镜面反射的时候，大概需要提供3~4ev的能量，但要是持续开始反射的话，那么我们总共需要62ev电子伏的能量！”

苏陌在黑板上进行简单的计算。

“我检查过这台设别，其镜片的反射率会对电子伏进行损耗，尤其是对极紫外光源的损耗更加严重，所以我们算上占比，那么我们总共提供的能量值，应该在大约80个电子伏左右！”

“这部分的能量，我们已经完全足够！”

“而且你们仔细查看图纸，有没有发现什么不太对劲的地方？”

苏陌指了指面前摆放着的这些图纸。

“图纸有什么不对的地方？”

王硕等人都是纷纷低头开始查看图纸上的参数设置。

“不对，这些图纸的参数设置好像偏大！”

“没错，我也发现了，我先开始以为只是设计预留的余量，但是现在看来，好像压根就不是这么回事！”

“的确是这样没错，从这些参数上来看的话，好像是……”

工部的人在设计方面都是大咖级别，他们压根就不需要过多的提醒，几乎是瞬间就明白过来。

苏陌的设计，原本就不是单纯为了duv级别的光刻机来的！

他一开始的设计，就是冲着euv级别的光刻机来的！

euv级别的光刻机？

“没错，按照我现在的设计，生产出euv的光刻机并不是多么复杂的事情，而且改造之后的余量，也足以完成光刻机的运行！”

“现在最困难的地方，并不是在光刻机内部的镜片方面，而是能源的供给！”

苏陌如实地说道：“想要间歇性实现光刻效果，那么至少每次提供的能量需要达到80ev，但要是全部实现连续光刻的话，那么总体的能量值将至少需要160ev左右！”

苏陌的话音落下，在场工部的不少技术人员都是纷纷低头开始计算。

“按照现在的能源供给，的确是相差甚远，而且若是强负荷运转的话，可能我们现在整体的电路系统都要重新开始改造，毕竟保险丝没有达到这么高的量级！”

“没错，的确是这样，但要是改进供电系统的话，那么整个电路将会全部改造，差不多几个亿建设的厂房，就要直接推导重来！”

“应该不会让我们这么做的吧，就算是全部推导，那么也找不到供电装置啊，这么大的电压，肯定是要上报的！”

在场的不少人都是议论纷纷。

苏陌却抬头看向远处：“现在，只有等着了！”

等着了！

这简单的几个字，却让工部的人一头雾水。