第一百一十一章 光刻机有问题（2/2）

“我觉得他只是进去看看，没想到这小子竟然直接拆开光刻机。”

韩可松也是眉头紧锁。

王昱站在门口，拍了拍门，抓起旁边的内部通讯座机，朝着里面喊道：“苏陌，你到底想要做什么，这可是光刻机，你知道这里面一个零件多少钱吗？”

“你千万不要冲动，有什么事情先上报给我！”

王昱拿着座机说话，里面的喇叭会直接传过去。

“没用了，我已经拆下来了，这部分的零件设计有问题！”

苏陌手里面拿着一个方形的小盒子部件，然后在无尘车间的摄像机镜头前面亮了一下：“王教授，我知道你不相信，你把图纸拿过来！”

“好，苏陌，你别乱来，图纸我马上就拿过来！”

王昱朝着旁边的研究生招呼了一下，然后有人开始去拿光刻机的说明书和技术图纸。

听到了这样的消息，实验室里面的其他人，也都是纷纷探出头来。

“嘿，你们听说了没有，苏陌竟然说光刻机有问题！”

“我估计是疯了吧，竟然说光刻机有问题，这么大的设备放在这里，怎么可能会有问题？”

“别的不说，这些个设备是从国外a**l公司直接引进过来了，他们光刻机都已经发明到了3纳米了，14纳米的光刻机怎么可能还有问题？”

“估计又是准备哗众取宠，说一些有的没的，以为很高大上！”

“你们懂个屁，知道苏陌是什么人吗？当初托卡马克装置就是苏陌研发出来的，你明白吗？”

“不仅如此，机械分离石墨烯的做法，也都是苏陌研发出来的，你能说他不懂？”

“研发出这些东西，就一定会改光刻机？你未免也实在是太看得起苏陌了！”

周围不少人都是忍不住议论纷纷。

在这里面有不少反对苏陌。

当然也有部分人支持苏陌。

此时此刻。

没一会儿的时间，苏陌带着东西从无尘车间里面走了出来。

王昱早就将苏陌直接带到附近的实验室里面。

“苏陌，你的意思是，这个模块有问题？”

王昱有些不敢相信地看着面前的苏陌。

苏陌指了指面前的图纸：“在技术图纸上，这部分的模块主要是对电压进行提升，从而得到更加强劲的电压，从而实现光线达到极紫外光的程度。”

“乍一看过去，没有任何的问题，但是这块模块能够影响的不光是光源的强度，而是整个光线的分辨率，我们都知道，光线经过镜片不断地反射，从而将需要的光线传输到电路板上！”

“但要是光源的能量供给不足，由物理学公式e = hv 可以求解出，h代表着的是普朗克常数，其单位h = 6.626176x10-27尔格·秒，所以其最终的能量，只跟频率v有关！”

“但是频率v，说白了v = 1/λ，而λ代表着光的波长！”

“若是能量不够，那么v就会降低，从而λ的波长就会变大，从而在光谱上，达不到极紫外光的程度，从而进入可见光的程度。”

“不仅如此，通过光源分辨率公式可以解算出，r = k1 · λ/na”

“公式中r代表分辨率；λ代表光源波长；k1是工艺相关参数，一般多在0.25到0.4之间；na（nuricaperture）被称作数值孔径，是光学镜头的一个重要指标，相当于对于光刻机而言是一个定值。”

“那么从而可以得到，整体的能量值将会导致整体光刻的分辨率不够，从而影响整体的光刻效果！”

苏陌开始推导整个光刻机的公式。

在看到这个公式的时候，王昱忽然之间沉默了。

苏陌没有说话，只是抓起旁边的测电笔，然后开始汇报自己的实验参数结果！

“根据变压器的原理，若是想要提升电压，那么左右两侧的线圈的圈数会呈现出变化，但是我们可以明显地看到，整个线圈的圈数相差并不是很大，所以升压的效率并不明显！”

苏陌将整个模块摆放在他们面前，这是最直观的展现。

与此同时，他更是将电表放到设备的两端，里面读出来的数值，着实让在场的人都是心头一突。